Die größtmögliche Messgenauigkeit für OLED-Anwendungen
Der Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller bietet eine außergewöhnlich gute Leistung, da er die bewährte Qualität der Dünnschichtabscheidungs-Controller von INFICON mit einzigartigen Funktionen vereint. Diese Eigenschaften gewährleisten einen optimalen OLED-Prozess. Mithilfe von ModeLock, unserem Frequenzmesssystem, gewährleistet der Cygnus 2 stabile, hoch auflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer in der Branche unangefochtenen Ratenauflösung von 0,00433 A/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristallcontroller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des Cygnus 2. So lassen sich Spitzenleistungen immer wiederholen.
Features auf einen Blick
- Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Von einem Cygnus 2 können bis zu sechs Quellen simultan gesteuert werden, unabhängig voneinander oder in einer beliebigen Kombination, sodass nicht mehr zwei oder drei Controller erforderlich sind.
- Auf dem Color TFT LCD-Display können Sie Ihren Prozess schnell und einfach nachverfolgen.
- 10 Hz-Messungen
- +/- 0,0035 Hz über 100 ms-Probe
- USB-Datenspeicherung für Screenshots, Rezepturspeicherung und Datenprotokollierung
- Dickensummierung von mehren Quellen
- Mittelwertbildung der Messraten für Materialien mit niedriger Dichte und äußerst niedriger Rate (bis zu 30 Sekunden bei der Verwendung mit stabilen Quellen für die Abscheidung von OLED-Dotiermaterial mit sehr niedriger Rate)
- Displayratenauflösung von bis zu 0,001Å/s
- Optionale 4-Meter-XIU bietet in großen Systemen die Möglichkeit zur Verwendung langer Kabel unter Vakuum.
- Nicht-Abscheidungssteuerung ermöglicht eine kontinuierliche Quellensteuerung, da Substrate die Abscheidungskammer durchlaufen müssen.
- 6 DAC-Standardausgänge, optional 6 zusätzliche Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung
- Optionale Ethernet-Kommunikation
- RoHS-konform
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
English
| Japanese
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|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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