Der INFICON Sputtering Sensor ist speziell für den Einsatz in Zerstäubungsprozessen gedacht. Das Sensorgehäuse und die Kühlschläuche sind aus vergoldetem Beryllium-Kupfer und gewährleisten deshalb maximale Kühlleistung in der Zerstäubungsumgebung. Ein in den Sensorkopf integrierter Magnet verhindert ein Überhitzen aufgrund von hochenergetischen freien Elektronen, indem diese durch das externe Magnetfeld abgelenkt werden. Da der Kristallhalter rückseitig beladen wird, können die Kristalle schnell, einfach und ohne Entfernen des Sensorkopfes aus dem System ausgetauscht werden.
Features auf einen Blick
- Sensorgehäuse und Kühlschläuche aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zum Ablenken von freien Elektronen vom Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen, dank denen der Sensor flexibel positioniert werden kann
- Einsetzen des Kristalls durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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