Hochpräzise Steuerung von sequenzieller oder Co-Abscheidung
Die kostengünstigen Dünnschichtcontroller der Baureihe SQC310 von INFICON bieten mit ihrer fortschrittlichen Elektronik und der verbesserten Anzeige zahlreiche Vorteile gegenüber Konkurrenzprodukten. Außerdem können Sie das ideale Modell für Ihre Anwendung auswählen: sequenzielle Abscheidung (SQC310) oder Co-Abscheidung (SQC310C).
Features auf einen Blick
- Helle aktive 1/4-VGA-LCD-Matrixfarbanzeige - verfügbar in Englisch oder Chinesisch
- Standardmäßiges RS-232 und USB (mit Ethernetoption)
- Einfache Einrichtung und Bedienung mit dem Menü "Quick Setup", sechs kontextabhängigen Tasten und einem komfortablen Drehknopf zur Parametereinstellung
- Windows®-Programm zum Entwickeln, Testen und Herunterladen von Prozessen sowie zur Protokollierung von Instrumentendaten auf Ihrem PC für Prozessanalysen und Qualitätskontrollen
- Präzise Prozesssteuerung, insbesondere für niedrige Abscheidungsraten, mit einer Auflösung von ±0,03 Hz bei 10 Messungen/Sekunde und einer Frequenzstabilität von ± 2 ppm bei 0 bis 50 °C
- Speicherkapazität für bis zu 100 Prozesse, 1.000 Ebenen, 50 Schichten
- Überwachung des Quellmaterials mit einem einzelnen Sensor oder mit mehreren Sensoren für eine präzise Überwachung der Quellverteilung
INFICON ist der einzige Hersteller von Dünnschichtabscheidungs-Controllern, der weltweit lokalen Service und technischen Support bietet, einschließlich eines vielfältigen Angebots an Sensoren, Durchführungen und Zubehörteilen zur Ergänzung von Controllern der Baureihe SQC310. Bei Erwerb eines Instruments der Baureihe SQC310 oder anderen INFICON-Produkten garantieren wir schnelle Antwortzeiten, sorgfältige Wartung und maximale Betriebszeiten.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - SQC310 Series Thin Film Deposition Controller
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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