Das SQM160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnologie von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen. Zwei Sensoreingänge sind Standard, vier zusätzliche Sensoreingänge sind optional. Zwei Aufzeichnungsausgänge stellen analoge Signale für Rate und Dicke bereit.
Die Sensoreingänge können unterschiedlichen Materialien zugeordnet, für eine präzise Abscheidungskontrolle in großen Systemen gemittelt oder für einen Dualsensor konfiguriert werden. Durch den Ratenprobennahmemodus ist es möglich, die Lebensdauer von Verschlusssensoren in Prozessen mit hohen Raten zu verlängern. Ratenanzeigen von 0,1Å/s oder 0,01Å/s können vom Benutzer ausgewählt werden. Zusätzlich können Frequenz oder Masse angezeigt werden. Durch vier Relaisausgänge kann der SQM160 Quell- oder Sensorverschlüsse steuern und Sollwerte für Zeit und Dicke sowie Kristallfehler signalisieren. Mithilfe der digitalen Eingänge können externe Signale gestartet/beendet und Messungen auf Null gesetzt werden.
Features auf einen Blick
- Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
- Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
- Option für hohe Präzision: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
- RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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