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•  Cool Drawer Dual Sensor
•  Cool Drawer Single Sensor
•  Crystal 12 Sensor
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•  Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
•  DCM-250 Software
•  Front Load Bakeable Sensor
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XTC/3 薄膜蒸着コントローラー


シングルまたはマルチレイヤーに高度、低価格のコントロール

シングルまたはマルチレイヤープロセス用薄膜蒸着コントローラーに必要なものをすべて手に入れましょう。特許取得ModeLock付きXTC/3 は、実証済みのモードホップ防止で安定した品質を実現します。XTC/3薄膜蒸着コントローラーをご使用頂けば、高精度な蒸着速度と膜厚のコントロール、実質的に数に制限のないレイヤー容量、簡単な取り付け、非常に高い信頼性が手に入り、それによって生産性を高めることができます。

薄膜蒸着コントロールの世界的なリーダーであるINFICONは、前例のないほど高い価値を驚くほど安い所有コストでお届けします。

コントロールの目的が生産であれ研究開発であれ、INFICON XTC/3はお客様の用途に適合できる製品です。

ワールドワイドな INFICONのサポート

世界のどの地域であっても、お客様に迅速な応答と懇切丁寧なサービスを提供し、最高の稼働率を実現することができます。世界中に支店を持つINFICONは、世界中でローカルサービスと技術サポートを提供できる唯一の薄膜蒸着コントローラーメーカーです。

特長一覧
  • シングルレイヤ対応モデルとマルチレイヤー対応モデルよりお選び下さい
  • 特許取得ModeLock技術がモードホッッピングに起因する膜厚誤差を防止
  • INFICON の Crystal 12™、CrystalSix®、およびデュアルセンサ自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
  • XTC/3Mマルチレイヤー仕様であれば99までのプロセス、999までのレイヤー、32までのフィルム、2個のセンサと2種類のソースをサポートします
  • XTC/3Sのシングルレイヤー仕様は9つまでのフィルムと2個のセンサ、2種類のソースまでをサポートします。
  • 見やすいTFT LCDグラフィックディスプレー
  • フィルムとプロセスは、ユニークな、内容を表す名前を割り当てることができ、簡単に取り出せる
  • イーサーネット接続可能(オプション)
  • スタンドアロン動作(コンピュータ不要)と PC コントロールの両方に対応(オプションとして Windows ソフトウェアを提供)
  • INFICON XTC/2 コントローラーにプラグ&プレイ方式で置き換え可能(XTC/2 の機能とコマンドセットに限定されます)

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Operating Manual (Chinese Language) - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
English

   Operating Manual - XTC/3 Communications Library
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   Operating Manual - XTC/3 Software Editor
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   Operating Manual - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
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