INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに欠かせないものです。OLEDであれ、MBEや太陽電力であれ、長いオプティカルコーティングその他チャンバーベント間に長い時間があくプロセスであれ、CrystalSixセンサは6つの水晶モニター振動子がひとつのセンサヘッドになっていることによって安全です。INFICONの薄膜コントローラーと一緒に使用すれば、CrystalSixセンサは、使用中の振動子が落ちたり、不安定になったりしても、自動的に新しい振動子を位置に回転させます。振動子はプロセスを断絶させることなく自動的に交換されるため、継続して蒸着速度を監視できます。
振動子インデクシングは空気式操作によって完成します。この空気式モーターは、効果な真空内、熱発電電力モーターを使用する競合ユニットよりも、振動子の熱安定性が優っています。8分の1インチの水冷却チュ―ブが、センサヘッドの熱安定性をキープし、センサの取替えをより柔軟にします。
特定のINFICONの薄膜コントローラーと一緒に使えば、センサは、どのポジションでどの材料が使えるかという蒸着フィードバックを出します。
特長一覧
- 6の振動子を装着し、安定した自動切り替えを行うことでプロセス可動時間を最大化
- 振動子の交換が空気式で操作されるため、振動子の温度が安定（他社では発熱モーターを使用）
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、センサ交換を柔軟に
- オプションで振動シャッターもあり
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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