Thin Film Deposition Controllers/QCM Measurement Instruments
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膜厚コントローラ
市場をリードする、インフィコンの膜厚コントローラおよびモニタは、最も複雑なプロセスに対しても、比類なき測定速度と精度で膜厚レートならびに厚さをコントロールします。強化されたソフトウェアおよびロジックI/C機能の数々により、インフィコンの膜厚コントローラは、真空システムと完全に一体化し、自動プロセスコントロールを実行します。あまり複雑でないプロセスには、インフィコンの低価格かつ高精度のコントローラおよびモニタを利用することができます。この製品は、従来の技術と比較して、100倍以上の精度で膜を測定します。
インフィコンのクリスタルベースの測定装置は、当社特許取得済みの測定システムであるModeLockを採用した最先端の測定機器となっています。
インフィコンが誇るすぐれたクォーツクリスタルは、数百万回におよぶプロセス実績により最高の信頼性を証明しています。金または銀製電極を備えた5MHzまたは6MHzタイプが用意されている、インフィコン製クリスタルは、100%の工場テストによりその品質が保証されています。
Cygnus膜厚コントローラ
OLEDアプリケーションにおいて最大スループットを実現します。
IC/5膜厚コントローラ
プロセスコントロールの統合を強化した、新型膜厚コントローラです。
XTC/C膜厚コントローラ
最も高精度かつ経済性にすぐれた製品です。
XTC/2膜厚コントローラ
最も高精度かつ経済性にすぐれた製品です。
XTM/2薄膜モニタ
レート／厚さを最高精度かつ最速で測定します。
センサおよびフィードスルーパッケージ
クォーツクリスタル
INFICON market-leading thin film deposition controllers, monitors and QCM measurement instruments control deposition rate and thickness of the most complex processes with unsurpassed measurement speed and precision. Enhanced software and logic I/O features allow the our thin film deposition controllers/QCM measurement instruments to be fully integrated into the vacuum system for automatic process control. To control less complex processes, use INFICON economical, precision controllers, monitors and QCM measurement instruments that measure films with 100 times more precision than conventional techniques.
Most INFICON crystal-based instruments use our patented measurement system, ModeLock, making them the most advanced instruments available.
More information about our thin film deposition/QCM instruments.
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Software
Sensors and Feedthroughs
Crystals
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Sensor and Feedthrough Packages
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