INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別にデザインされています。センサ本体と冷却チューブは金メッキを張ったベリリウム銅で、スパッタリング環境において最高の冷却効果を発揮します。センサヘッドに組み込まれた磁石が、スパッタリングシステムで起こる強力な自由電子を外部磁場にそらせることで過度の熱を軽減させます。この後方搭載振動子ホルダーのデザインによって、システムからセンサヘッドを取り外す必要なしに振動体の交換が簡単にできます。
特長一覧
- 金メッキを張ったベリリウム銅センサ本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
- 磁石が自由電子をモニター振動子からそらす
- 曲げられる水チューブで簡単にインストールでき、センサ交換も柔軟に
- 後方搭載振動子挿入で、振動子の取替が簡単に
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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