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SQM160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。 两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。 两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。 速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。 速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。 此外，还可以选择频率或质量显示。 凭借四个继电器输入，SQM160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。 数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
功能概览
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高精度选项： 0.03Hz，每秒 10 个读数
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
相关技术资料
Software:
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Software - SQM-160-COMM-V1.14
English
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产品样本和数据表:
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Brochure - SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
English
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操作及维修手册:
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