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薄膜沉积控制器/QCM 测量仪器



INFICON 市场领先的薄膜沉积控制器、监控器和 QCM 测量仪器凭借无与伦比的测量速度和精度,可控制最复杂过程的沉积速率和厚度。 利用增强型软件和逻辑 I/O 的强大功能,可将我们的薄膜沉积控制器/QCM 测量仪器完全集成到真空系统,实现自动过程控制。 在控制复杂度较低的过程时,使用 INFICON 经济实惠的精密控制器、监控器和 QCM 测量仪器测量薄膜,测量精度比传统技术高出 100 倍。

INFICON 大部分基于晶体的仪器均采用了我们已获专利的测量系统 ModeLock,因而成为当今市场上最先进的仪器。

有关我们的薄膜沉积/QCM 仪器的详细信息

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