INFICON 传感器和馈入件包

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Products:

射频传感技术

检漏仪

残余气体分析仪

电子束枪坩埚指数仪

真空元件

真空计

真空阀和气体计量系统

石英晶体传感器

石英晶体微天平研究系统 (RQCM)

石英监控器晶体

薄膜沉积控制器/监控器

•	Cool Drawer Dual Sensor
•	Cool Drawer Single Sensor
•	Crystal 12 Sensor
•	CrystalSix Sensor
•	Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
•	DCM-250 Software
•	Front Load Bakeable Sensor
•	Front Load Dual Sensor
•	Front Load Single Sensor
•	IC6 Thin Film Deposition Controller
•	Q-pod Quartz Crystal Monitor
•	Quartz Crystals
•	RQCM
•	RSH-600 Rotary Sensor Head
•	SQC310 Thin Film Deposition Controller
•	SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
•	SQM242 Thin Film Co-Deposition Controller Card
•	Sensor and Feedthrough Packages
•	Sputtering Sensor
•	XTC/3 Thin Film Deposition Controller

FabGuard 软件套件

传感器和馈入件包

我们的 INFICON 传感器和馈入件系列拥有经实践检验的质量和耐用性。我们标准的紧凑型双 CrystalSix 和 Crystal 12 传感器经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。我们的传感器采用“炫酷抽屉 (cool drawer)”晶体支架，允许从传感器侧面插入监控晶体，或者以前端装入方向插入监控晶体。

系统安装要求馈入件组符合特定的客户要求。 INFICON 提供 1" 螺栓和 2-3/4" ConFlat 法兰。每个馈入件组都经过特别设计，旨在为客户提供最大的灵活性。请随时联系我们，我们将帮助您准确地选择适合您的过程的传感器或馈入件。

详细了解我们的传感器和馈入件：

炫酷抽屉单传感器

炫酷抽屉双传感器

前装式单传感器

前装式双传感器

前装式可烘烤传感器

RSH-600 旋转传感器头

溅射传感器

CrystalSix 传感器

Crystal 12 传感器