高精确连续沉积控制或共沉积控制
凭借先进的电子元件，高级的显示器，以及经济实惠的价格，INFICON SQC310 系列为您提供在竞争对手的薄膜控制器上难以找到的一系列功能。 您可以选择最适合自己应用的型号： 连续沉积 (SQC310) 或共沉积 (SQC310C)。
功能概览
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 标准 RS-232 或 USB（带有以太网选项）
- 设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
- Windows® 程序，用于开发、测试和下载过程，以及用于将仪器数据录入 PC 中以供过程分析和质量控制使用
- 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz，0 至 50C 温度范围内频率稳定度为 ± 2 ppm
- 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
- 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控
INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商，并提供各种传感器、馈入件和附件以增强 SQC310 系列控制器。 无论是购买 SQC310 系列仪器还是任何其他 INFICON 产品，您均可获得快速回复、贴心服务以及最长运行时间，对此您尽可放心。
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - SQC310 Series Thin Film Deposition Controller
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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