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•  Cool Drawer Dual Sensor
•  Cool Drawer Single Sensor
•  Crystal 12 Sensor
•  CrystalSix Sensor
•  Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
•  DCM-250 Software
•  Front Load Bakeable Sensor
•  Front Load Dual Sensor
•  Front Load Single Sensor
•  IC6 Thin Film Deposition Controller
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•  SQC310 Thin Film Deposition Controller
•  SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
•  SQM242 Thin Film Co-Deposition Controller Card
•  Sensor and Feedthrough Packages
•  Sputtering Sensor
•  XTC/3 Thin Film Deposition Controller
   
> FabGuard 软件套件



XTC/3 薄膜沉积控制器


技术先进,经济实惠,可对单层或多层薄膜进行速率控制

立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。 XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。 使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精确地控制沉积速率和厚度,获得几乎适用于所有层的容量,而且控制器安装简便,具有极高可靠性,可确保高生产力。

INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者,现在提供的这款仪器具有极低的拥有成本,可为客户带来空前的价值。

无论您需要的是生产、研发还是开发方面的控制,您都将发现 INFICON XTC/3 能够完美满足您的需求。

全球 INFICON 支持

无论您身在何处,都可获得快速回复、贴心服务以及最长运行时间。 INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商,其办事处遍布全球。

功能概览
  • 提供有单层和多层型号
  • 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
  • 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换,从而最大化生产力
  • XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
  • XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
  • 可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称,以便于检索
  • 提供以太网连接
  • 独立式(不需要计算机)或可选的 Windows® 软件,便于使用 PC 操作
  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Operating Manual (Chinese Language) - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
English

   Operating Manual - XTC/3 Communications Library
English

   Operating Manual - XTC/3 Software Editor
English

   Operating Manual - XTC/3 Thin Film Deposition Controller
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